Geçen yılki AXCELIS TECHS DL-,001 geliri 983.24 M EUR olarak gerçekleşmiştir ve bunun büyük bir kısmı - 1.01 B EUR - şu anda en yüksek performans gösteren kaynak olan Ion Implantation Systems and Services'den gelmiştir, bir yıl önce 839.18 M EUR. Gelir miktarına en büyük katkı Birleşik Devletler tarafından yapılmıştır - geçen yıl AXCELIS TECHS DL-,001 678.86 M EUR, ve ondan önceki yıl — 592.46 M EUR.