Geçen yılki ASML geliri 27.56 B EUR olarak gerçekleşmiştir ve bunun büyük bir kısmı - 9.12 B EUR - şu anda en yüksek performans gösteren kaynak olan Extreme Ultraviolet'den gelmiştir, bir yıl önce 7.05 B EUR. Gelir miktarına en büyük katkı Tayvan tarafından yapılmıştır - geçen yıl ASML 8.07 B EUR, ve ondan önceki yıl — 8.10 B EUR.