Geçen yılki ASML HOLDING NV geliri 26.75 B CHF olarak gerçekleşmiştir ve bunun büyük bir kısmı - 9.50 B CHF - şu anda en yüksek performans gösteren kaynak olan Argon Fluoride Immersion'den gelmiştir, bir yıl önce 8.21 B CHF. Gelir miktarına en büyük katkı Çin tarafından yapılmıştır - geçen yıl ASML HOLDING NV 10.02 B CHF, ve ondan önceki yıl — 6.60 B CHF.